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海德漢HEIDENHAIN光柵尺LIDA 479/489資料下載

點擊次數：1552 發布時間：2021/6/24

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海德漢HEIDENHAIN光柵尺LIDA 479/489資料下載

敞開式直線光柵尺

敞開式直線光柵尺設計用于對測量精度要求*的機床和系統。

典型應用包括：

半導體業的測量和生產設備

PCB電路板組裝機

超高精度機床

高精度機床

測量機和比較儀，測量顯微鏡和其它精密測量設備

直驅電機

Linear scale	LIDA 409
Measuring standard Coefficient of linear expansion	Steel scale tape with METALLUR scale grating; grating period 20 µm αtherm ? 10 · 10–6 K–1
Accuracy grade*	±3 µm, ±15 µm1)
Baseline error	≤ ±0.750 µm/50 mm (typical)
Measuring length ML* in mm	70 120 170 220 270 320 370 420 520 620 720 820 920 1020			Scale tape from the roll: 2 m,4 m, 6 m
Reference marks	One at midpoint of measuring length			Every 50 mm
Mass	31 g/m

Scanning head	LIDA 48	LIDA 47
Interface	1 VPP	? TTL
Integrated interpolation* Signal period	– 20 µm	5-fold 4 µm	10-fold 2 µm		50-fold 0.4 µm	100-fold 0.2 µm
Cutoff frequency –3 dB	≥ 500 kHz	–
Scanning frequency*	–	≤ 400 kHz ≤ 200 kHz ≤ 100 kHz ≤ 50 kHz	≤ 200 kHz ≤ 100 kHz ≤ 50 kHz ≤ 25 kHz		≤ 50 kHz ≤ 25 kHz ≤ 12.5 kHz	≤ 25 kHz ≤ 12.5 kHz ≤ 6.25 kHz
Edge separation a2)	–	≥ 0.100 µs ≥ 0.220 µs ≥ 0.465 µs ≥ 0.950 µs	≥ 0.100 µs ≥ 0.220 µs ≥ 0.465 µs ≥ 0.950 µs		≥ 0.080 µs ≥ 0.175 µs ≥ 0.370 µs	≥ 0.080 µs ≥ 0.175 µs ≥ 0.370 µs
Traversing speed2)	≤ 600 m/min	≤ 480 m/min ≤ 240 m/min ≤ 120 m/min ≤ 60 m/min	≤ 240 m/min ≤ 120 m/min ≤ 60 m/min ≤ 30 m/min		≤ 60 m/min ≤ 30 m/min ≤ 15 m/min	≤ 30 m/min ≤ 15 m/min ≤ 7.5 m/min
Interpolation error	±45 nm	–
Limit switches	L1/L2 with two different magnets; output signals: TTL (without line driver)
Electrical connection	Cable, 0.5 m, 1 m or 3 m with D-sub connector (male) 15-pin
Cable length	See interface description, however limit: ≤ 20 m (with HEIDENHAIN cable)
Voltage supply	DC 5 V ±0.5 V
Current consumption	< 130 mA	< 150 mA (without load)
Vibration 55 Hz to 2000 Hz Shock 6 ms	≤ 500 m/s2 (EN 60 068-2-6) ≤ 1000 m/s2 (EN 60 068-2-27)
Operating temperature	–10 °C to 70 °C
Mass Scanning head Connecting cable Connector	20 g (without cable) 22 g/m 32 g
* Please select when ordering 1) ±5 µm after linear length-error compensation in the evaluation electronics 2) At a corresponding cutoff or scanning frequency

絕對式編碼器

系列說明

LIC LIC敞開式直線光柵尺能夠對行程達28 m和高速運動進行絕對位置測量。其尺寸和安裝方式與LIDA 400相同。

輸出位置值的編碼器

系列說明

LIP 200 LIP 211和LIP 291增量式直線光柵尺輸出位置值的位置信息。正弦掃描信號在讀數頭中被高倍頻細分且其計數功能將細分的信號轉換成位置值。與所有增量式編碼器一樣，借助參考點確定絕對原點。

增量式編碼器

系列說明

LIP

超高精度

LIP敞開式直線光柵尺擁有極小的測量步距，*的精度和重復精度。掃描方式為干涉掃描，測量基準為DIADUR相位光柵。

LIF

高精度

LIF敞開式直線光柵尺的測量基準是SUPRADUR工藝制造的玻璃基體光柵，采用干涉掃描方法。特點是精度高和重復精度高，安裝特別簡單，有限位開關和回零軌。特殊型號的LIF 481 V可用于10–7 bar的真空環境中（參見其單獨“產品信息”）。

LIDA

高速運動和大測量長度

LIDA敞開式直線光柵尺特別適合運動速度達10 m/s的高速運動應用，支持多種安裝方式，安裝特別簡單。根據相應應用要求，METALLUR光柵的基體可為鋼帶，玻璃或玻璃陶瓷。也有限位開關。

二維坐標測量

PP二維編碼器的測量基準是平面DIADUR工藝制造的相位光柵，采用干涉掃描方法。用于測量平面中位置。

LIP/LIF

高真空和超高真空技術

我們的標準編碼器適用于低真空或中等真空應用。高真空或超高真空應用的光柵尺需要滿足一些特殊要求。采用的設計和材質必須滿足應用要求。更多信息，參見“真空中應用的直線光柵尺”產品信息。

以下敞開式直線光柵尺專用于高真空或超高真空應用環境。

• 高真空：LIP 481 V和LIF 481 V

• 超高真空：LIP 481 U

海德漢敞開式直線光柵尺的全新信號處理ASIC芯片

海德漢敞開式直線光柵尺是*精度定位或高準確性運動的理想選擇。為確保光柵尺在整個生命周期中都滿足高精度要求，海德漢最新開發了全新ASIC信號處理芯片：HSP 1.0。

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